EDS(Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy)能谱分析是一种与扫描电子显微镜(SEM)或透射电子显微镜(TEM)联用的元素分析技术。
简单来说,凡是固体、干燥、无挥发性的,并且能放入电镜样品室的材料,基本上都可以进行EDS分析。 它主要用于元素的定性和半定量分析,能够告诉我们样品中“有什么元素”以及“大概有多少”。
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